注：EG-600已停产，现型号为EG-610

    EG-610型OZONE MONITORS（以下称为显示器）是配备微处理器的嵌入式显示器。它们已经发展为用于控制半导体制造过程中的臭氧浓度以及用于控制在同一过程中使用的高浓度臭氧发生器的传感器。它由主体（控制单元）和检测器单元组成，仅通过将管道连接到检测器单元的两端即可连续测量臭氧浓度。使用此监视器，可以使用外部信号或前面板上的开关轻松执行零位校准。除零气体吸入（采样气体吹扫）计时器外，还有另一个内置的时间间隔计时器，可以以任意设置的时间间隔定期执行零校准。即使在关闭电源时，也会存储此时获得的零校准值，并在下次打开电源时应用 很后的零校准值。自诊断功能监视并显示监视器内部的异常。由于此监视器在检测器单元内部具有内置温度传感器，因此可以执行气体温度补偿。类似地，由于压力传感器内置在检测器单元中，因此气压可以自动补偿为大气压。通过使用可选的串行端口，您可以通过与主机进行数据通信来获取更准确的数字数据。